[发明专利]硅单晶棒回收装置及方法、液氮供应装置有效
| 申请号： | 201510661933.X | 申请日： | 2015-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN106591953B | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 张汝京;林志鑫;肖德元 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 金华 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅单晶棒回收装置及方法、液氮供应装置，其中，所述硅单晶棒回收装置包括用于盛装待回收的硅单晶棒的硅单晶棒容器；用于盖住并密封所述硅单晶棒容器的盖体；穿过所述盖体与所述硅单晶棒容器连通的第一管路；一端与所述硅单晶棒容器的侧壁连通的第二管路；一端与所述硅单晶棒容器的侧壁连通的第三管路；与所述硅单晶棒容器的侧壁连通的第四管路。液氮从第二管路流入硅单晶棒容器后，热去离子水通过第一管路流入硅单晶棒容器对其中的硅单晶棒淬火，淬火完成后的水通过第四管路排出，即可收集无污染的硅单晶碎块。在整个过程中，不会引入其他杂质，实现了无污染且快速的回收硅单晶棒，方便后续使用，降低了成本，提高了效益。 | ||
| 搜索关键词： | 硅单晶棒 回收 装置 方法 液氮 供应 | ||
【主权项】：
一种硅单晶棒回收装置，其特征在于，包括：一硅单晶棒容器，用于盛装待回收的硅单晶棒；一盖体，用于盖住并密封所述硅单晶棒容器；一第一管路，其一端穿过所述盖体与所述硅单晶棒容器连通，另一端与热去离子水装置连接，且在所述第一管路上设置有一第一阀门；一第二管路，其一端通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通，另一端与一液氮供应装置连接，且在所述第二管路上设置有一第二阀门；一第三管路，其一端通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通，另一端与一真空装置连接，且在所述第三管路上设置有一第三阀门；以及一第四管路，通过所述硅单晶棒容器的侧壁与其连通，且在所述第四管路上设置有一第四阀门。
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