[发明专利]一种双面发电异质结太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种双面发电异质结太阳能电池的制备方法，所述方法包括a)在N型硅片的两面制绒，形成金字塔绒面；b)在制绒后的N型硅片的其中一面沉积第一本征非晶硅薄膜层和N型非晶硅薄膜层，另一面上沉积第二本征非晶硅膜层和P型非晶硅薄膜层；c)在N型非晶硅薄膜层和P型非晶硅薄膜层上沉积透明导电薄膜层；d)在N型硅片两面的透明导电薄膜层上沉积金属层；e)在N型硅片两面的金属层上形成金属栅线电极；f)去除金属栅线电极区域外的金属层。本发明可以使低温金属与透明导电膜之间形成好的接触，同时可以去除金属栅线边缘的高分子遮挡层，有利于降低电池的串联电阻，增加太阳能电池的有效吸收光，进而提升转换效率。

主权项

一种双面发电异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：a)在N型硅片的两面制绒，形成金字塔绒面；b)在制绒后的N型硅片的其中一面沉积第一本征非晶硅薄膜层和N型非晶硅薄膜层，另一面上沉积第二本征非晶硅膜层和P型非晶硅薄膜层；c)在N型非晶硅薄膜层和P型非晶硅薄膜层上沉积透明导电薄膜层；d)在N型硅片两面的透明导电薄膜层上沉积金属层；e)在N型硅片两面的金属层上形成金属栅线电极；f)去除金属栅线电极区域外的金属层。