[发明专利]一种半导体芯片晶圆毫伏级信号测试系统在审
| 申请号： | 201510664513.7 | 申请日： | 2015-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN105372574A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 焦贵忠;孙丽丽;田波;郑宇;吴慧;朱芳 | 申请（专利权）人： | 华东光电集成器件研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233042 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体芯片晶圆毫伏级信号测试系统，包括ASL1000测试平台，ASL1000测试平台的输出接口连接有测试夹具与探针卡，探针卡上设有分压电路、继电器以及与待测晶圆相配合的探针，所述测试夹具与探针配合连接；ASL1000测试平台向测试夹具输出电源信号与控制信号，并通过探针分别施加在待测晶圆的电源输入端与控制输入端，ASL1000测试平台向分压电路输出测试信号，并控制继电器的通断；分压电路将接收的测试信号分压处理为毫伏级信号，毫伏级信号依次通过继电器的触点与探针施加在待测晶圆的信号输入端；测试信号经由线路传输，毫伏级信号施加在晶圆上进行测试，实现大信号传输、小信号测试的目的，能够避免对晶圆测试时毫伏级信号的衰减，结构简单，通用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 芯片 毫伏 信号 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体芯片晶圆毫伏级信号测试系统，包括ASL1000测试平台（1），其特征在于，所述ASL1000测试平台（1）的输出接口连接有测试夹具（2）与探针卡（3），探针卡（3）上设有分压电路（4）、继电器（5）以及与待测晶圆（7）相配合的探针（6），所述测试夹具（2）与探针（6）配合连接；所述ASL1000测试平台（1）的输出接口分别连接分压电路（4）的输入端与继电器（5）的线圈，分压电路（4）的输出端通过继电器（5）的触点与探针（6）相连；所述ASL1000测试平台（1）向测试夹具（2）输出电源信号与控制信号，并通过探针（6）分别施加在待测晶圆的电源输入端与控制输入端，待测晶圆的输出端通过探针（6）与测试夹具（2）向ASL1000测试平台（1）发送反馈信号；ASL1000测试平台（1）向分压电路（4）输出测试信号，并控制继电器（5）的通断；分压电路（4）将接收的测试信号分压处理为毫伏级信号，毫伏级信号依次通过继电器（5）的触点与探针（6）施加在待测晶圆（7）的信号输入端。
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