[发明专利]一种光学元件三自由度微位移调节装置有效
| 申请号： | 201510665090.0 | 申请日： | 2015-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN105137562A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张德福;李显凌;倪明阳;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130000 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学元件三自由度微位移调节装置，包括：镜筒（1）、用于光学元件放置的镜框（2）和分别与镜筒（1）、镜框（2）连接的三自由度调节装置，该三自由度调节装置可驱动镜框（2）相对镜筒（1）沿X、Y、Z三个自由度进行移动，实现光学元件位移调节的目的；该位移调节装置具有结构简单，设计合理，调节精度高，方便加工等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 自由度 位移 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种光学元件三自由度微位移调节装置，其特征在于，包括：镜筒（1）；镜框（2），其设置于所述镜筒（1）的上方，用于所述光学元件的放置；三自由度调节装置，其包括：驱动器（8），其安装于所述镜筒（1）的外壁上；柔性导向机构（1‑3），其设置于所述镜筒（1）的内侧，且通过推杆（19）与所述驱动器（8）驱动连接，所述柔性导向机构（1‑3）在驱动器（8）的驱动下，可分别沿X轴和Y轴进行移动，其中，所述X轴和Y轴均建立于镜筒（1）所在平面，且所述X轴和Y轴相互垂直；UR调节支链（6），其下端与所述柔性导向机构（1‑3）固定连接，上端与所述镜框（2）固定连接，所述UR调节支链（6）在所述柔性导向机构（1‑3）的带动下，可驱动所述镜框（2）分别沿X轴、Y轴和Z轴进行移动，其中，所述Z轴为所述镜筒（1）的中心轴。
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