[发明专利]蒸镀设备和蒸镀方法

摘要

本发明是关于一种蒸镀设备和蒸镀方法，属于镀膜技术领域。蒸镀设备包括：镀膜腔室和至少一个蒸发源腔室，镀膜腔室中设置有基片放置组件，第一蒸发源腔室中设置有蒸发源放置组件，蒸发源放置组件用于放置蒸发源，第一蒸发源腔室为至少一个蒸发源腔室中任一蒸发源腔室；镀膜腔室和第一蒸发源腔室之间设置有密封组件，密封组件打开时，镀膜腔室和第一蒸发源腔室连通，密封组件关闭时，镀膜腔室和第一蒸发源腔室隔断。本发明通过设置至少一个用于放置蒸发源的蒸发源腔室，且通过密封组件可以连通或隔断蒸发源腔室和镀膜腔室，解决了相关技术中，更换基片时空气会对蒸发源造成污染的问题；达到了避免空气污染蒸发源的效果。

主权项

一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括：镀膜腔室和至少一个蒸发源腔室，所述镀膜腔室中设置有基片放置组件，所述基片放置组件用于放置基片，第一蒸发源腔室中设置有蒸发源放置组件，所述蒸发源放置组件用于放置蒸发源，所述第一蒸发源腔室为所述至少一个蒸发源腔室中任一蒸发源腔室；所述镀膜腔室和所述第一蒸发源腔室之间设置有密封组件，所述密封组件打开时，所述镀膜腔室和所述第一蒸发源腔室连通，所述密封组件关闭时，所述镀膜腔室和所述第一蒸发源腔室隔断；所述第一蒸发源腔室中还设置有蒸发源移动组件，所述蒸发源移动组件与所述蒸发源放置组件连接，且能够在所述密封组件打开时，带动所述蒸发源放置组件移动到所述镀膜腔室中；所述镀膜腔室中还设置有基片移动组件，所述基片移动组件与所述基片放置组件连接，且能够在所述密封组件打开时，带动所述基片放置组件移动到所述第一蒸发源腔室中。