[发明专利]一种蓝宝石复合衬底及其制备方法有效
| 申请号： | 201510667185.6 | 申请日： | 2015-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN105261682A | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 许南发;王瑞敏;玄成帅;郭明灿 | 申请（专利权）人： | 山东元旭光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/12 | 分类号： | H01L33/12;H01L33/22;H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石复合衬底及其制备方法，蓝宝石衬底包括氧化铝层，其制备方法包括步骤先让清洗干净的蓝宝石基板上生长一层掩膜层，并在掩膜层上涂覆光刻胶，然后利用光刻技术对掩膜层上未有图形区域进行光刻。光刻完毕后利用BOE溶液或RIE刻蚀，去除没有光刻胶保护的掩膜层区域，再利用湿法溶液去除残余的光刻胶。接着在掩膜层的保护下腐蚀蓝宝石基板直至蓝宝石基板，使相邻图形的底部粘连到一起，再使用湿法清洗图形化蓝宝石基板。最后利用溅射设备，在蓝宝石基板上沉积一层氮化铝，至此形成了蓝宝石复合衬底。因此本发明的蓝宝石复合衬底的制备方法，可以实现大面积、低成本、工业化的复合图形蓝宝石衬底制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 复合 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石复合衬底，包括蓝宝石基板，所述蓝宝石基板上设有掩膜层，所述掩膜层经过光刻或腐蚀形成图形掩膜层，通过所述图形掩膜层保护腐蚀所述蓝宝石基板形成图形化蓝宝石图形层，其特征在于，所述图形化蓝宝石图形层上设有氧化铝层，所述氧化铝层厚度为10～14nm或101～500nm；所述图形化蓝宝石图形层上相邻图形的底部相互粘连。
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