[发明专利]仿海豹胡须的宽频带MEMS矢量水听器

摘要

本发明为一种仿海豹胡须的宽频带MEMS矢量水听器，该水听器极大地提高了MEMS矢量水听器的探测水里微弱声源信号的能力。本发明包括不锈钢电路管壳、缩颈管壳、固定圆盘、带凸台的绝缘环形托盘，凸台上安装有圆形PCB板和探测芯片，探测芯片包括四梁微结构、敏感柱体和浮力球，圆形PCB板和探测芯片的整体表面采用Parylene薄膜绝缘封装。本发明水听器是针对以前的仿鱼类侧线系统的MEMS矢量水听器，在不影响水听器灵敏度的情况下，极大提高纳机电矢量水听器的频带宽度，消除聚氨酯透声帽对水听器频响曲线的影响，为水听器的应用和发展提供了良好的前景。

主权项

一种仿海豹胡须的宽频带MEMS矢量水听器，包括内置信号处理电路板（1）的不锈钢电路管壳（2），不锈钢电路管壳（2）顶部延设有内置导线（3）的缩颈管壳（4）、底部管口插接有连接电缆（5）的堵头（6），缩颈管壳（4）内的导线与不锈钢电路管壳（2）内的信号处理电路板（1）的输入端连接，同时信号处理电路板（1）的输出端通过导线（3）与堵头（6）上的电缆（5）连接；缩颈管壳（4）的顶部固接有开设中心通孔的固定圆盘（7），固定圆盘（7）上开设有安装槽（8），安装槽（8）内通过聚氨酯无缝隙地粘接安装有绝缘环形托盘（9），绝缘环形托盘（9）上设有凸台（10），绝缘环形托盘（9）上靠近边缘的位置设有环形卡槽（11），绝缘环形托盘（9）上以其圆心为对称中心开设有八个贯穿绝缘环形托盘（9）及凸台（10）的螺孔（16），其中任意两个螺孔（16）为注油螺孔、剩余六个螺孔（16）为信号螺孔，注油螺孔内安装有密封螺钉（12）、信号螺孔内安装有镀镍螺钉（13），并且各镀镍螺钉（13）与缩颈管壳（4）内的导线（3）连接；绝缘环形托盘（9）上的凸台（10）上安装有圆形PCB板（14），圆形PCB板（14）上正对绝缘环形托盘（9）上八个螺孔（16）的位置同样开设有八个螺孔（16），并且圆形PCB板（14）通过密封螺钉（12）和镀镍螺钉（13）固定于绝缘环形托盘（9）的凸台（10）上，圆形PCB板（14）的中心处安装有水听器探测芯片（15）；不锈钢电路管壳（2）、缩颈管壳（4）、固定圆盘（7）、绝缘环形托盘（9）、凸台（10）、水听器探测芯片（15）均位于同一轴线上；其特征在于：所述的圆形PCB板（14）和水听器探测芯片（15）的整体表面沉积Parylene薄膜以形成绝缘封装。