[发明专利]电磁阻抗感测元件及其制作方法

摘要

本发明公开一种电磁阻抗感测元件及其制作方法，其中电磁阻抗感测元件包括第一基材、第一图案化导电层、第二基材、第二图案化导电层、磁性导线以及包覆层。第一基材具有第一表面，第一图案化导电层形成于第一表面上；第二基材具有第二表面，面对第一表面。第二图案化导电层，形成于第二表面上，与第一图案化导电层电性接触，并且与第一图案化导电层共同定义出一容置空间。磁性导线穿设于此容置空间之中。包覆层包覆磁性导线使磁性导线分别与第一图案化导电层和第二图案化导电层电性隔离。其中，第一图案化导电层与第二图案化导电层形成至少一个线圈电路围绕磁性导线。

主权项

1.一种电磁阻抗感测元件，包括:/n第一基材，具有第一表面；/n第一图案化导电层，形成于该第一表面上；/n第二基材，具有第二表面，面对该第一表面；/n第二图案化导电层，形成于该第二表面上，并且与该第一图案化导电层电性接触，并共同定义出一容置空间，其中该容置空间的形状呈六角形，其中该第一基材与该第二基材为硅基材，且该二硅基材于(1,0,0)晶格排列方向的基材表面分别形成上下相对接合的第一沟槽与第二沟槽；/n磁性导线(amorphous wire)，穿设于该容置空间之中；/n包覆层，包覆该磁性导线，使该磁性导线分别与该第一图案化导电层和该第二图案化导电层电性隔离；/n其中该第一图案化导电层与该第二图案化导电层形成至少一线圈电路(coilof wire)围绕该磁性导线，/n多个接触窗，贯穿该第一基材，使该些接触窗分别与该第一图案化导电层和该第二图案化导电层至少一者以及该磁性导线电性接触；以及/n一图案化电路层，具有形成在该第一基材相对于该第一表面的一第三表面上的多个焊垫，分别与该些接触窗电连接。/n