[发明专利]一种纳米探针台上的样品传输的装置及方法有效
申请号: | 201510672869.5 | 申请日: | 2015-10-16 |
公开(公告)号: | CN105319397B | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
发明(设计)人: | 高慧敏;张顺勇;汤光敏;卢勤 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | G01R1/02 | 分类号: | G01R1/02 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 陈薇 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及一种纳米探针台上的样品传输的装置,包括传输杆,所述传输杆的前端设有样品座,所述传输杆上设有环形把手,所述环形把手可沿所述传输杆延伸方向移动并带动所述样品座来回移动,还包括环形件,所述环形件位于与所述环形把手送样终端固定位置相对应的传输杆上,所述环形件上且与所述环形把手靠近的一面上设有弧形凹槽,在所述环形把手靠近所述环形件的一面上设有与所述弧形凹槽相对应的突起,所述环形把手可沿所述传输杆延伸方向移动使得所述突起插入所述弧形凹槽内,所述环形把手可绕所述传输杆旋转使得所述突起在所述弧形凹槽内滑动。本发明可以使样品精确快速的加载在纳米探针台的预设终端的载台上。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 探针 台上 样品 传输 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种纳米探针台上的样品传输的装置,包括传输杆,所述传输杆的前端设有样品座,所述传输杆上设有环形把手,所述环形把手可沿所述传输杆延伸方向移动并带动所述样品座来回移动,其特征在于:还包括环形件,所述环形件位于与所述环形把手送样终端固定位置相对应的传输杆上,所述环形件上且与所述环形把手靠近的一面上设有弧形凹槽,在所述环形把手靠近所述环形件的一面上设有与所述弧形凹槽相对应的突起,所述环形把手可沿所述传输杆延伸方向移动使得所述突起插入所述弧形凹槽内,所述环形把手可绕所述传输杆旋转使得所述突起在所述弧形凹槽内滑动;所述环形把手送样终端固定位置为所述环形件带有弧形凹槽的一面与样品传送至纳米探针台的预设终端时环形把手带有突起一面相逢的位置。
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