[发明专利]用于感测光刻设备的液体泄漏的设备和方法有效
| 申请号： | 201510675581.3 | 申请日： | 2015-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN105651463B | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 金成柱;金镇平;徐度铉;李在必;李显勋;黃星朝 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张帆;张青 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于感测光刻设备的液体泄漏的设备和方法，其可通过对提供给极紫外光产生设备的收集镜的冷却水的泄漏进行感测来防止收集镜受到污染。所述液体泄漏感测设备包括收集镜模块、配置为向所述收集镜模块的一个表面提供冷却水的冷却单元、配置为向所述冷却单元提供水溶性气体的气体供应单元以及配置为对泄漏到所述冷却单元外部的水溶性气体进行感测的感测单元。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测光 设备 液体 泄漏 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体泄漏感测设备，包括：容器；光源，其配置为向所述容器提供源光；微滴产生器，其配置为产生微滴；收集镜，其布置在所述容器中，并配置为利用收集镜的反射表面对通过所述源光与所述微滴之间的相互反应而产生的处于所述反射表面一侧的极紫外光进行收集和反射；冷却单元，其配置为向所述收集镜的不同于所述反射表面的一个表面提供冷却水以调节所述收集镜的温度；气体供应单元，其配置为向所述冷却单元提供水溶性气体；以及感测单元，其配置为对水溶性气体从所述容器内的冷却单元泄漏进行感测。
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