[发明专利]器件测试有效
申请号: | 201510678910.X | 申请日: | 2015-10-20 |
公开(公告)号: | CN105527557B | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | G.卡波迪瓦卡;A.德西科 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 申屠伟进;张涛 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及器件测试。器件(100)包括多个单元(110‑1,110‑2,110‑3)。每一个单元包括场效应晶体管(120)和被配置成选择性地将相应场效应晶体管(120)的第二接触件(121‑2)与器件(100)的公共测试线(293)连接。器件(100)的控制器(310)被配置成控制开关(301)处于闭合定位中。提供至少一个管脚(171‑1,171‑3),其被配置成向连接到场效应晶体管(120)的第一接触件(121‑1)的公共电力线(191)和公共测试线(393)施加应力电压。 | ||
搜索关键词: | 器件 测试 | ||
【主权项】:
1.一种能够施以栅应力的器件(100),包括:‑ 公共电力线(191),‑ 公共测试线(393),以及‑ 多个单元(110‑1‑110‑3),其中多个单元(110‑1‑110‑3)中的每一个包括:‑ 包括栅极(121‑3)、第一接触件(121‑1)和第二接触件(121‑2)的场效应晶体管(120),第一接触件(121‑1)是场效应晶体管(120)的源极和漏极中的一个并且耦合到公共电力线(191),第二接触件(121‑2)是源极和漏极中的另一个,以及‑ 开关(301),其被配置成在闭合定位中选择性地将相应场效应晶体管(120)的第二接触件(121‑2)与公共测试线(393)耦合,其中器件(100)还包括:‑ 控制器(310),其被配置成控制多个单元(110‑1‑110‑3)的开关(301)处于闭合定位中,‑ 至少一个管脚(171‑1,171‑3),其被配置成当至少一个开关(301)处于闭合定位中时向公共电力线(191)和公共测试线(393)施加应力电压。
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