[发明专利]大马士革一体化刻蚀机腔体和衬底部件在审
| 申请号： | 201510680502.8 | 申请日： | 2015-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN105321794A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 汤介峰;潘无忌;刘东升;吕煜坤;朱骏;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了大马士革一体化刻蚀机腔体，包括：腔体本体、设置在所述腔体本体内部的工艺组件以及设置于所述腔体本体内且与所述腔体本体相匹配的衬底部件。本发明还提供一种衬底部件，安装于大马士革一体化刻蚀机腔体的腔体本体中，并与腔体本体匹配。本发明通过在腔体本体内增设衬底部件，可以保护腔体本体内壁和底部，避免生成物粘附在腔体本体内壁和底部，无需多个人力花费多个工时来铲除粘附在侧壁和底部的生成物。 | ||
| 搜索关键词： | 大马士革 一体化 刻蚀 机腔体 衬底 部件 | ||
【主权项】：
一种大马士革一体化刻蚀机腔体，其特征在于，包括：腔体本体、设置在所述腔体本体内部的工艺组件以及设置于所述腔体本体内且与所述腔体本体相匹配的衬底部件。
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