[发明专利]一种实现运动台定位的装置及方法有效
| 申请号： | 201510681592.2 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106610570B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 沈鑫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种实现运动台定位的装置及方法，所述装置包括：基准板，所述基准板上设有测量标记；照明光源，用于照亮所述测量标记；图像传感器，用于得到所述测量标记的成像信息；反射单元，将照亮所述测量标记后的光反射至所述运动台，经所述运动台后再反射至所述图像传感器；及控制单元，处理所述测量标记的成像信息，得到所述运动台的位置信息，对所述运动台进行定位。与现有技术相比，本发明具有结构简单、捕获精度高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 运动 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种实现运动台定位的装置，其特征在于，包括：基准板，所述基准板上设有测量标记；照明光源，用于照亮所述测量标记；图像传感器，用于得到所述测量标记的成像信息；反射单元，将照亮所述测量标记后的光反射至所述运动台，经所述运动台后再反射至所述图像传感器；及控制单元，处理所述测量标记的成像信息，得到所述运动台的位置信息，对所述运动台进行定位。
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