[发明专利]一种激光封装系统及激光封装过程中温度控制的方法在审
| 申请号： | 201510681607.5 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106607645A | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 贾俊伟;徐文;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/21 | 分类号： | B23K26/21;B23K26/70;H01L51/52 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光封装系统及激光封装过程中温度控制的方法，所述激光封装系统包括一玻璃基板，在所述玻璃基板上布置有用于密封玻璃基板的玻璃粉图案；一激光器，用于提供一激光束；一扫描振镜，控制所述激光束运动，将所述激光束投射至所述玻璃粉图案处；一工件台，用于支撑所述玻璃基板；一控制模块，检测所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度，并根据所述运动速度控制所述激光器以改变所述激光束的功率，使得投射至所述玻璃粉图案上各处的光斑的温度均匀。与现有技术相比，本发明省略了现有技术方案中的高温计，降低了激光封装的成本；且无需对现有系统中的激光束做形状、尺寸或光强分布的改变，降低系统的复杂性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 封装 系统 过程 温度 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种激光封装系统，其特征在于，包括：一玻璃基板，在所述玻璃基板上布置有用于密封玻璃基板的玻璃粉图案；一激光器，用于提供一激光束；一扫描振镜，控制所述激光束运动，将所述激光束投射至所述玻璃粉图案处；一工件台，用于支撑所述玻璃基板；一控制模块，检测所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度，并根据所述运动速度控制所述激光器以改变所述激光束的功率，使得投射至所述玻璃粉图案上各处的光斑的温度均匀。
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