[发明专利]探针卡与测试方法有效
| 申请号： | 201510682725.8 | 申请日： | 2015-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN106597037B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 刘昌明 | 申请（专利权）人： | 创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种探针卡与测试方法于此揭露。探针卡包含配置为测试单元的多个探针组。测试单元用以对晶圆上待测区域的多个晶粒进行测试，并于测试完成后向第一方向移动m单位及向第二方向移动n单位以对下一待测区域进行测试，其中m、n为正整数。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，其特征在于，包含配置为一测试单元的多个探针组，该测试单元用以对一晶圆上一待测区域的多个晶粒进行测试，并于测试完成后向一第一方向移动m单位及向一第二方向移动n单位以对下一待测区域进行测试，其中m、n为正整数，其中，该测试单元中所述探针组包含多个第一探针组以及至少一第二探针组，所述第一探针组与该至少一第二探针组配置于多行与多列上彼此交错排列，该至少一第二探针组是配置于与相邻的所述第一探针组等距的行与列上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司，未经创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510682725.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种锡点扎针方法
- 下一篇：一种方波冲击电流试验的调波装置及实验回路
