[发明专利]一种氧化锌纳米管阵列气敏传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于丙酮气体检测的氧化锌纳米管阵列传感器的制备方法，采用湿化学-分步温控相结合法制备氧化锌纳米管阵列，气敏传感器件采用旁热式器件结构，以氧化铝陶瓷管为载体，陶瓷管内部有加热丝，外表面附有金电极，两端由铂金丝引出电极，陶瓷管内有加热丝，陶瓷管外涂附氧化锌纳米管阵列气敏材料，焊接、封装后得到气敏传感器件。本发明的优点在于利用纳米管阵列做气敏材料，可大大增加材料表面的活性空位及电子传输性能；提高气敏传感器的响应率和响应时间；本发明的气敏传感器件制作简单、性能稳定、灵敏度高、响应时间短、恢复时间短，可显著降低对丙酮的检测极限（5ppm）。

主权项

一种氧化锌纳米管阵列气敏传感器的制备方法，其特征在于，具体制备方法如下：（1）配制生长ZnO纳米管阵列的溶液；锌源的质量分数为0.5%，碱源的质量分数为0.5%，混合均匀；（2）将Al₂O₃陶瓷片放在步骤（1）配制的溶液里，在烘箱中分两步进行化学溶解，其中第一步控制95‑105℃条件下反应8‑16小时，第二步控制50℃条件下反应5‑10小时，将样品离心，得到白色粉末；在40‑80℃干燥箱中烘干，即得到不同长径比ZnO纳米管阵列；（3）把步骤（2）所得的纳米管阵列氧化锌均匀涂抹在氧化铝陶瓷管上，将氧化铝陶瓷管进行焊接、封装，在100‑300℃下老化，制成气敏传感器原件。