[发明专利]药液回收设备及其系统与方法

摘要

本发明公开了一种药液回收设备及其系统与方法，用于回收药液，药液回收设备包括：一药液槽，用于容纳药液；一回收路径，包含药液集中槽与回流管路，药液集中槽连通回流管路，药液集中槽设于药液槽旁，用以导引一外流药液，外流药液为由药液槽外流的至少部份药液；一回收容器，通过回收路径导引外流药液进入回收容器；一冷却管路，热接触药液槽，并提供冷却流体在冷却管路中流动；以及一冷却机，与冷却管路连通，降温冷却管路内的冷却流体，并驱动冷却流体流动。

主权项

1.一种药液回收设备，用于回收与一基材进行化学制程的药液，其特征在于，该回收设备包括：一药液槽，用于容纳所述药液，且该药液槽具有一开口，该开口提供所述基材与该药液槽内的所述药液进行化学制程；一回收路径，包含药液集中槽与回流管路，该药液集中槽连通该回流管路，该药液集中槽设于该药液槽旁，用以导引一外流药液，该外流药液为由该药液槽外流的至少部份所述药液，该回流管路连通该药液槽，用以将回收的药液输送至该药液槽，且该回流管路内设有一检测单元而检测回收的药液是否符合一默认值；一回收容器，通过该回收路径导引所述外流药液进入该回收容器，该回收容器内设有一二次冷却模块；一冷却管路，热接触该药液槽，并提供冷却流体在该冷却管路中流动，该冷却管路包含一冷却盘管，该冷却盘管设于该药液集中槽内；以及一冷却机，与该冷却管路连通，降温该冷却管路内的冷却流体，并驱动所述冷却流体流动；其中，该药液槽的开口周缘外设有围绕该开口的溢流槽，该溢流槽连通该回流管路，用以导引所述外流药液。