[发明专利]一种电致变色玻璃钨镍合金靶材及其制备方法有效
申请号: | 201510687988.8 | 申请日: | 2015-10-22 |
公开(公告)号: | CN105239043A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 罗永春;石煜;王志强 | 申请(专利权)人: | 厦门映日新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F3/16;C22C27/04;C22C19/03;C03C17/06 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人: | 方惠春 |
地址: | 361000 福建省厦*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种电致变色玻璃钨镍合金靶材及其制备方法。首先将纯度为99.99%钨粉、纯度为99.9%镍粉,W粉和Ni粉装入高能球磨机充高纯Ar2并以200-250r/min速度混合得到含钨镍合金粉;再使用冷等静压成形,加压制备得到钨镍坯体;将所得钨镍坯料装入真空烧结炉进行烧结;关闭真空烧结炉加热系统,随炉冷却至室温后方可出炉,得到总纯度>99.9%、含镍质量比10%-50%的变色玻璃钨镍合金靶材。本发明环保,方法简单,能制备出组织均匀、高密度、高纯度的玻璃钨镍合金靶材。 | ||
搜索关键词: | 一种 变色 玻璃 镍合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种电致变色玻璃钨镍合金靶材的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:a.将纯度为99.99%钨粉、纯度为99.9%镍粉,W粉和Ni粉装入高能球磨机充高纯Ar2并以200‑250r/min速度混合得到含钨镍合金粉;b.将混合好的钨镍合金粉末使用冷等静压成形,加压制备得到钨镍坯体; c.将所得钨镍坯料装入真空烧结炉进行烧结;d.关闭真空烧结炉加热系统,随炉冷却至室温后方可出炉,得到含镍质量比10%‑50%的变色玻璃钨镍合金靶材。
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