[发明专利]圆心位置获取方法有效
| 申请号： | 201510689402.1 | 申请日： | 2015-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN106610265B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;褚明杰;张锋;花鹏;王琪;刘贺 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及计算机控制领域，尤其涉及一种圆心位置获取方法，包括以下步骤：步骤一，晶圆圆心与预对准机旋转托盘上的旋转中心重合；步骤二，利用非接触空间坐标测量装置测量预对准机1旋转中心；步骤三，调整靶标在晶圆上的位置，同时利用非接触空间坐标测量装置测量靶标位置，使靶标不断接近预对准机的旋转中心直至与预对准机的旋转中心重合；本发明可以准确的将测量设备靶标固定在晶圆圆心上，进而可以准确的对晶圆圆心进行定位和测量，具有高精度获取圆心和可验证其准确性的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 圆心 位置 获取 方法 | ||
【主权项】：
1.一种圆心位置获取方法，其特征在于，其实施设备包括机械手、非接触空间坐标测量装置、靶标、预对准机和晶圆；包括以下步骤：步骤一，利用预对准机和机械手识别晶圆圆心并移动晶圆使晶圆圆心与预对准机旋转托盘上的旋转中心重合；步骤二，利用非接触空间坐标测量装置测量预对准机旋转中心，测量方法是将靶标固定在晶圆上的非圆心位置处，使旋转托盘旋转，同时利用非接触空间坐标测量装置测量靶标旋转时的位置，将测得的点进行拟合得到圆周，进而得到旋转中心，所述非接触空间坐标测量装置为激光跟踪仪；步骤三，调整靶标在晶圆上的位置，同时利用非接触空间坐标测量装置测量靶标位置，使靶标不断接近预对准机的旋转中心直至与预对准机的旋转中心重合，靶标准确的固定在晶圆圆心上，即是完成了圆心位置获取。
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