[发明专利]一种基于双层诱导技术制备红荧烯薄膜的方法在审

专利信息
申请号: 201510691763.X 申请日: 2015-10-23
公开(公告)号: CN105336880A 公开(公告)日: 2016-02-17
发明(设计)人: 王丽娟;张玉婷;孙丽晶;王勇;李占国 申请(专利权)人: 长春工业大学
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 130012 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明设计了一种双层诱导红荧烯薄膜生长的制备方法,即通过增加有效诱导层的层数来诱导红荧烯薄膜生长,在高质量双层诱导层上外延生长高有序、高结晶性的红荧烯薄膜,通过调控外延层生长行为、结晶度和薄膜微结构,实现有机—有机外延生长关系,构筑高有序、高结晶性的多晶形态的红荧烯薄膜,达到提高其迁移率的目的。
搜索关键词: 一种 基于 双层 诱导 技术 制备 红荧烯 薄膜 方法
【主权项】:
本发明是一种基于双层诱导技术制备红荧烯薄膜的方法,实现过程为:Si基底(1), SiO2绝缘层 (2) ,厚300 nm;六联苯(p‑6P)第一诱导层(3),衬底温度为180 ℃,厚度为3 nm,α‑4噻吩(α‑4T)第二诱导层(4),衬底温度为20 ℃,厚度为30 nm,红荧烯有源层(5),衬底温度设为20 ℃,厚度在30 nm。
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