[发明专利]用于测量干涉仪传递函数的台阶板的制作方法

摘要

一种用于测量干涉仪系统传递函数的台阶板的制作方法，将具有面形1/10λ以上的石英基片放入镀膜夹具中，并通过两条铜丝固定锋利刀片使得刀片的刀口压紧待镀膜面，利用高温电子枪蒸镀法在待镀膜面的半边镀一层SiO2膜，本发明能够方便地制作不同高度以及不同口径的台阶板，并能保证台阶处的陡峭度和可用性，具有高精度、高效率和经济的特点。

主权项

1.一种用于测量干涉仪传递函数的台阶板的制作方法，其特征在于该方法包括以下步骤：①准备基础夹具：基础夹具由工装夹具(1)和刀片(2)组装而成，所述的工装夹具(1)是一块具有同心的圆形凹槽(5)的圆形铝板，该圆形凹槽(5)的直径与待镀基片直径相同，该圆形凹槽以过圆心的直径为界，该圆形凹槽的一半圆通透无底，另一半圆有底，底厚为0.5mm～1mm，且半圆有底一侧的深度比待镀膜石英玻璃基片的厚度少1mm～2mm，在所述的工装夹具(1)的半圆有底的一侧的圆形铝板上有与该半圆直径边缘相平行的第一线切割槽(3)和第二线切割槽(4)，第一线切割槽与圆心的距离为凹槽直径的1/4，第二线切割槽与圆心的距离为凹槽直径的1/10，两条线切割槽的宽度为0.5mm～1mm，深度达工装夹具(1)的底上面；先在第二线切割槽(4)中插入铜丝，接着平行于工装夹具(1)半圆直径边缘放入刀片(2)，该刀片的长度比所述的圆形凹槽(5)的直径短1mm，使刀片(2)的刀口伸出半圆直径边缘1mm，再在第一线切割槽(3)中插入铜丝，两条铜丝夹紧使所述的刀片(2)的刀口翘起；②将具有面形为1/10λ以上、光学均匀性为1类、条纹度1类、可见光光谱透过率1类、应力双折射1类、颗粒不均匀性1类和气泡度优于1类的石英玻璃基片放入所述的圆形凹槽(5)中，使所述的石英玻璃基片的待镀膜面紧贴所述的刀片；③将安放了石英玻璃基片的基础夹具放入镀膜机的工件架中，在干锅中放入熔石英，控制镀膜机真空度为10-2Pa，温度220°，利用高温电子枪蒸镀法，采用膜厚控制仪监测镀膜厚度从而控制镀膜时间，待膜厚控制仪监测到的镀膜厚度达到要求厚度时，停止镀膜，即得到半边镀所需高度的SiO2膜的石英玻璃基片，该镀膜石英玻璃基片即为台阶板。