[发明专利]一种双结构绒面AZO透明导电薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种双结构绒面AZO透明导电薄膜及其制备方法，能够实现良好的陷光效果，进而提高太阳能电池的转换效率。该透明导电薄膜结构依次包括：衬底层、“弹坑”状的陷光绒面层和纳米柱陷光绒面层。该方法的步骤包括：采用磁控溅射法在玻璃衬底层表面上沉积AZO透明导电薄膜；将制备好的AZO透明导电薄膜进行湿法腐蚀；在已制备的“弹坑”状绒面AZO透明导电薄膜上采用水热合成法直接生长纳米柱陷光绒面层。本发明制备方法简单、易操作，不需经过反复的溅射和腐蚀便能得到双结构绒面，制备成本低。

主权项

一种双结构绒面AZO透明导电薄膜，其特征是该透明导电薄膜结构依次包括：衬底层、“弹坑”状的陷光绒面层和纳米柱陷光绒面层，所述的衬底层为玻璃或聚酰亚胺；所述的“弹坑”状陷光绒面层为微米级“弹坑”状的绒面AZO薄膜；所述的纳米柱陷光绒面层为AZO纳米柱。