[发明专利]一种设定晶圆针测针压的自动设定系统

摘要

本发明公开了一种设定晶圆针测针压的自动设定系统，包括控制主机、测试机通讯连接装置、测试机头、测试机与探针卡连接装置、探针卡基板、探针、晶圆、针测机、针测机通讯连接装置；控制主机通过测试机通讯连接装置与测试机头相连，探针卡在探针卡基板上并通过测试机与探针卡连接装置与测试机头相连，针测机通过针测机通讯连接装置与控制主机相连，针测机承载晶圆托盘固定在针测机承载晶圆基座上，晶圆放置在针测机承载晶圆托盘。本发明自动设定系统，可以自动设定晶圆针测针压，可以轻松找到晶圆的最佳针测针压，避免了设定人员的主观判断的差异，通过一次按钮代替检测针痕，既精确又节省时间。

主权项

一种设定晶圆针测针压的自动设定系统，其特征在于：包括控制主机、测试机通讯连接装置、测试机头、测试机与探针卡连接装置、探针卡基板、探针、晶圆、针测机、针测机通讯连接装置；所述针测机上设有针测机承载晶圆托盘、针测机承载晶圆基座；所述控制主机通过测试机通讯连接装置与测试机头相连，所述探针卡在探针卡基板上并通过测试机与探针卡连接装置与测试机头相连；所述针测机通过针测机通讯连接装置与控制主机相连，所述针测机承载晶圆托盘固定在针测机承载晶圆基座上，所述晶圆放置在针测机承载晶圆托盘。