[发明专利]用于保持基板的具有锁定机构的载体

摘要

本发明的一个实施例是一种用于加工微电子器件基板的载体装置，和组装载体装置的方法。该载体装置可以包括用于加工微电子器件基板的第一载体板，其包括形成在其中的多个悬臂。所述多个悬臂中的每一个悬臂都可以具有连接至第一载体板的第一端部，和可以在第一构造与第二构造之间移动的第二端部，在第一构造中，第二端部处于第一载体板的平面内，而在第二构造中，第二端部处于第一载体板的平面之外。该装置还可以包括用于加工微电子器件基板的第二载体板，第二载体板包括形成在其中的多个容纳槽。

主权项

一种用于加工微电子器件基板的载体装置，所述装置包括：第一载体板，所述第一载体板用于加工微电子器件基板，所述第一载体板具有形成在其中的多个悬臂，所述多个悬臂中的每一个悬臂具有连接至所述第一载体板的第一端部和能够在第一构造与第二构造之间移动的第二端部，在所述第一构造中，所述第二端部处于所述第一载体板的平面内，而在所述第二构造中，所述第二端部处于所述第一载体板的平面之外；和第二载体板，所述第二载体板用于加工微电子器件基板，所述第二载体板具有形成在其中的多个容纳槽，所述多个容纳槽中的每一个容纳槽的尺寸适于在所述第二构造中容纳所述多个悬臂中的一个悬臂的所述第二端部，以使得所述第一载体板被夹持至所述第二载体板。