[发明专利]石英基Si-C-O气凝胶隔热复合材料及其制备方法在审
| 申请号： | 201510698570.7 | 申请日： | 2015-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN106608723A | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 霍阳阳;郑旭东;关帅;陈英男 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B30/02 | 分类号： | C04B30/02 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)21229 | 代理人： | 霍光旭 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体制备所应用的隔热保温材料技术领域，具体涉及一种石英基Si-C-O气凝胶隔热复合材料及其制备方法，制备该材料首先将硅源和碳源混合，经反应后制备出具有纳米多孔的三维网络骨架结构的溶胶，然后以短切石英纤维为原料，通过纤维浆料抽滤、模压成型的方法经高温烧结制备多孔纤维预制体，接着将所述溶胶与石英多孔纤维预制体复合，形成石英纤维与Si-C-O气凝胶的混合体，然后通过超临界流体干燥得到具有纳米多孔结构的Si-C-O气凝胶先驱体复合材料，再对Si-C-O气凝胶先驱体复合材料进行高温惰性气氛裂解，最终形成石英基Si-C-O气凝胶隔热复合材料，该材料将Si-C-O气凝胶与石英纤维结合在一起，制备出了一种性能优越的隔热材料，适合应用于半导体制造行业中。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 si 凝胶 隔热 复合材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
石英基Si‑C‑O气凝胶隔热复合材料，其特征在于，所述隔热复合材料的制备首先将硅源和碳源混合，经水解反应和缩聚反应后制备出具有纳米多孔的三维网络骨架结构的溶胶，然后以短切石英纤维为原料，通过纤维浆料抽滤、模压成型的方法经高温烧结制备多孔纤维预制体，接着将所述溶胶与石英多孔纤维预制体复合，形成石英纤维与Si‑C‑O气凝胶的混合体，然后通过超临界流体干燥得到具有纳米多孔结构的Si‑C‑O气凝胶先驱体复合材料，再对Si‑C‑O气凝胶先驱体复合材料进行高温惰性气氛裂解，最终形成具有Si‑O键、Si‑C键的石英基Si‑C‑O气凝胶隔热复合材料。
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