[发明专利]固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备

摘要

本发明涉及一种固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备，可以提供诸如光学混色减少等特性改善的固态成像装置。此外，提供了使用所述固态成像装置的电子设备。在具有基板(12)和在基板(12)上形成的多个光电转换部(40)的固态成像装置中，形成有绝缘膜(21)埋入其中的元件隔离部(19)。元件隔离部(19)由具有固定电荷的绝缘膜(20)构成，所述绝缘膜形成为包覆沟部(30)的内壁面，所述沟部(30)从基板(12)的光入射侧在深度方向上形成。

主权项

1.一种固态成像装置，包括：基板；在所述基板中设置的第一光电转换部和第二光电转换部，所述第二光电转换部与所述第一光电转换部相邻；在所述第一光电转换部和所述第二光电转换部之间，从所述基板的光入射侧在深度方向上设置的沟部；和设置有绝缘膜和固定电荷膜的元件隔离部，所述固定电荷膜具有固定电荷，其中，所述固定电荷膜在剖视图中设置在所述沟部的内壁面上，其中，所述绝缘膜在所述剖视图中设置在所述沟部的所述固定电荷膜上，其中，所述固定电荷膜在所述剖视图中设置在所述基板中相邻光电转换部之间的所述光入射侧上方，且其中，所述绝缘膜在所述剖视图中设置在相邻光电转换部之间的所述固定电荷膜上方。