[发明专利]一种减缓原子自旋弛豫的原子气室内壁镀膜方法在审
申请号: | 201510701368.5 | 申请日: | 2015-10-26 |
公开(公告)号: | CN105256286A | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 李新坤;王巍;刘院省;王学锋;邢朝洋;刘福民;石猛;邓意成;王妍;周维洋 | 申请(专利权)人: | 北京航天控制仪器研究所 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人: | 范晓毅 |
地址: | 100854 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种减缓原子自旋弛豫的原子气室内壁镀膜方法,该方法首先采用将铷原子蒸汽充入原子气室内,再通过氢化物固态释气剂(如氢化钛、氢化钙等)向原子气室内释放压强为10Torr~100Torr的氢气,并在温度50℃~150℃下保持数十~数百小时,原子气室内壁会附着一层氢化铷薄膜,最后将气室内残存的氢气抽空,结束镀膜过程,本发明在上述镀膜过程中采用固态释气剂产生氢气,与传统采用高压氢气瓶作为氢源相比,提高了在原子气室内壁进行氢化铷镀膜的工艺安全性,并且氢化铷镀膜后将气室内残余氢气抽空,与将氢气直接密封在气室内相比,有利于提升原子气室性能的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 减缓 原子 自旋 内壁 镀膜 方法 | ||
【主权项】:
一种减缓原子自旋弛豫的原子气室内壁镀膜方法,其特征在于:具体包括如下步骤:(1)、将N个原子气室(3)通过第一管路(5)连接在主管(1)上,并通过主管(1)相互连通,其中N为正整数;(2)、将盛放铷源的第一容器(2)通过第二管路(6)连接在主管(1)上,并与主管(1)连通;(3)、将盛放氢化物固态释气剂的第二容器(4)通过第三管路(7)连接在主管(1)上,并与主管(1)连通;(4)、将主管(1)连接到真空系统上,利用真空泵对整个管路抽真空,至压强小于5×10‑4Pa;(5)、加热盛放铷源的第一容器(2),使铷源以蒸汽的形式扩散到各个原子气室(3)内;(6)、对盛放氢化物固态释气剂的第二容器(4)进行加热,所述加热温度为650℃~720℃,使所述氢化物缓慢分解,产生的氢气通过主管(1)充入各个原子气室(3)内,当气室内氢气压力达到气压P时,封闭第三管路(7),使氢气不再进入主管(1),所述气压P为10Torr~100Torr;(7)、将原子气室(3)在温度T下保持时间t;所述温度T为50℃~150℃,时间t为60h~300h;(8)、利用真空泵将原子气室(3)内残余的氢气抽空,完成原子气室(3)内壁镀膜。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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