[发明专利]一种减缓原子自旋弛豫的原子气室内壁镀膜方法在审

专利信息
申请号: 201510701368.5 申请日: 2015-10-26
公开(公告)号: CN105256286A 公开(公告)日: 2016-01-20
发明(设计)人: 李新坤;王巍;刘院省;王学锋;邢朝洋;刘福民;石猛;邓意成;王妍;周维洋 申请(专利权)人: 北京航天控制仪器研究所
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30
代理公司: 中国航天科技专利中心 11009 代理人: 范晓毅
地址: 100854 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种减缓原子自旋弛豫的原子气室内壁镀膜方法,该方法首先采用将铷原子蒸汽充入原子气室内,再通过氢化物固态释气剂(如氢化钛、氢化钙等)向原子气室内释放压强为10Torr~100Torr的氢气,并在温度50℃~150℃下保持数十~数百小时,原子气室内壁会附着一层氢化铷薄膜,最后将气室内残存的氢气抽空,结束镀膜过程,本发明在上述镀膜过程中采用固态释气剂产生氢气,与传统采用高压氢气瓶作为氢源相比,提高了在原子气室内壁进行氢化铷镀膜的工艺安全性,并且氢化铷镀膜后将气室内残余氢气抽空,与将氢气直接密封在气室内相比,有利于提升原子气室性能的稳定性。
搜索关键词: 一种 减缓 原子 自旋 内壁 镀膜 方法
【主权项】:
一种减缓原子自旋弛豫的原子气室内壁镀膜方法,其特征在于:具体包括如下步骤:(1)、将N个原子气室(3)通过第一管路(5)连接在主管(1)上,并通过主管(1)相互连通,其中N为正整数;(2)、将盛放铷源的第一容器(2)通过第二管路(6)连接在主管(1)上,并与主管(1)连通;(3)、将盛放氢化物固态释气剂的第二容器(4)通过第三管路(7)连接在主管(1)上,并与主管(1)连通;(4)、将主管(1)连接到真空系统上,利用真空泵对整个管路抽真空,至压强小于5×10‑4Pa;(5)、加热盛放铷源的第一容器(2),使铷源以蒸汽的形式扩散到各个原子气室(3)内;(6)、对盛放氢化物固态释气剂的第二容器(4)进行加热,所述加热温度为650℃~720℃,使所述氢化物缓慢分解,产生的氢气通过主管(1)充入各个原子气室(3)内,当气室内氢气压力达到气压P时,封闭第三管路(7),使氢气不再进入主管(1),所述气压P为10Torr~100Torr;(7)、将原子气室(3)在温度T下保持时间t;所述温度T为50℃~150℃,时间t为60h~300h;(8)、利用真空泵将原子气室(3)内残余的氢气抽空,完成原子气室(3)内壁镀膜。
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