[发明专利]一种烧绿石型Gd2Ti2O7缓冲层薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种烧绿石型Gd2Ti2O7缓冲层薄膜的制备方法，包括以下步骤：一、将乙酰丙酮钆溶解于丙酸和乙酰丙酮的混合溶液中，混合均匀后得到溶液A，将乙酰丙酮氧钛溶解于2‑甲氧基乙醇中，混合均匀后得到溶液B，然后将溶液A和溶液B混合均匀，得到前驱液；二、将前驱液涂覆在衬底表面，然后将涂覆有前驱液的衬底置于管式炉中进行热处理，得到烧绿石型Gd2Ti2O7缓冲层薄膜。本发明工艺简单、成本低，制备的Gd2Ti2O7薄膜具有良好c轴织构和平整表面，有效地简化了氧化物薄膜的制备工艺，并且适宜于大规模生产Gd2Ti2O7薄膜。

主权项

1.一种烧绿石型Gd2Ti2O7缓冲层薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将乙酰丙酮钆溶解于丙酸和乙酰丙酮的混合溶液中，混合均匀后得到溶液A，将乙酰丙酮氧钛溶解于2‑甲氧基乙醇中，混合均匀后得到溶液B，然后将溶液A和溶液B按体积比1∶1混合均匀，得到前驱液；所述溶液A中乙酰丙酮钆的浓度以及溶液B中乙酰丙酮氧钛的浓度均为0.1mol/L～0.5mol/L；所述丙酸和乙酰丙酮的混合溶液由丙酸和乙酰丙酮按体积比(2～4)∶1混合均匀而成；步骤二、将步骤一中所述前驱液均匀涂覆于衬底表面，然后将涂覆有前驱液的衬底置于管式炉中，在还原性气体的保护下，先以50℃/min～200℃/min的升温速率升温至950℃～1150℃后保温0.5h～2h，然后以2℃/min～10℃/min的降温速率降温至25℃室温，在衬底表面得到烧绿石型Gd2Ti2O7缓冲层薄膜；所述衬底的织构类型为双轴织构。