[发明专利]一种Al掺杂Mg2Si基热电薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201510704525.8 | 申请日： | 2015-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105220118A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 周白杨;陈志坚;温翠莲;郑运相 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种Al掺杂Mg2Si基热电薄膜及其制备方法。在本底真空度为6.5×10-4～1.0×10-5Pa，工作气体为高纯Ar气，工作气压为0.1～5.0Pa的条件下，采用磁控溅射沉积法在绝缘衬底上进行双靶循环溅射，一靶位放Mg2Si靶，电源选用射频电源；另一靶位放Al单质靶，电源选用直流电源；先镀Mg2Si层，接着镀Al层，再镀Mg2Si层；按此周期循环多次，从而得到具有叠层结构的薄膜，最后采用真空退火获得Al掺杂Mg2Si基热电薄膜。本发明的磁控溅射法制备工艺具有工艺简单、成本低等优势，可满足大规模生产需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 al 掺杂 mg sub si 热电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种Al掺杂Mg2Si基热电薄膜的制备方法，其特征在于：采用磁控溅射沉积法在绝缘衬底上进行双靶循环溅射，其中，一靶位放Mg2Si靶，电源选用射频电源；另一靶位放Al单质靶，电源选用直流电源；先镀Mg2Si层，接着镀Al层，再镀Mg2Si层，以此为一周期；按此周期循环多次，从而得到具有叠层结构的薄膜，最后采用真空退火获得Al掺杂Mg2Si基热电薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福州大学，未经福州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510704525.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
- 一种Nd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-Yb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>改性的La<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>-(Zr<sub>0.92</sub>Y<sub>0.08</sub>)O<sub>1.96</sub>复相热障涂层材料
- 无铅[(Na<sub>0.57</sub>K<sub>0.43</sub>)<sub>0.94</sub>Li<sub>0.06</sub>][(Nb<sub>0.94</sub>Sb<sub>0.06</sub>)<sub>0.95</sub>Ta<sub>0.05</sub>]O<sub>3</sub>纳米管及其制备方法
- 磁性材料HN(C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>)<sub>3</sub>·[Co<sub>4</sub>Na<sub>3</sub>(heb)<sub>6</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>6</sub>]及合成方法
- 磁性材料[Co<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(hmb)<sub>4</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub>]·(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub> 及合成方法
- 一种Bi<sub>0.90</sub>Er<sub>0.10</sub>Fe<sub>0.96</sub>Co<sub>0.02</sub>Mn<sub>0.02</sub>O<sub>3</sub>/Mn<sub>1-x</sub>Co<sub>x</sub>Fe<sub>2</sub>O<sub>4</sub> 复合膜及其制备方法
- Bi<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TeO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub>-WO<sub>3</sub>系玻璃
- 荧光材料[Cu<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(mtyp)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>(H<sub>2</sub>O)<sub>3</sub>]<sub>n</sub>及合成方法
- 一种(Y<sub>1</sub>-<sub>x</sub>Ln<sub>x</sub>)<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>薄膜的直接制备方法
- 荧光材料(CH<sub>2</sub>NH<sub>3</sub>)<sub>2</sub>ZnI<sub>4</sub>
- Li<sub>1.2</sub>Ni<sub>0.13</sub>Co<sub>0.13</sub>Mn<sub>0.54</sub>O<sub>2</sub>/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>复合材料的制备方法
