[发明专利]一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置及方法在审
| 申请号： | 201510705273.0 | 申请日： | 2015-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105200384A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 张斌;张俊彦;高凯雄;强力 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明属于物理气相沉积领域,公开了一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置，该装置包括磁控溅射靶，磁控溅射靶前设有磁靴，其中磁靴由一对磁场相反的电磁铁组成，磁靴产生的磁场平行于磁控溅射靶的靶面。本发明磁靴增强磁控溅射镀膜装置离化率可以由原来的10%提高到60%。本发明还公开了一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜方法，该方法制备的涂层具有高结合力、超韧的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 金刚石 薄膜 增强 磁控溅射 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置，该装置包括磁控溅射靶（1），其特征在于所述磁控溅射靶（1）前设有磁靴（3），其中磁靴（3）由一对磁场相反的电磁铁组成，磁靴（3）产生的磁场平行于磁控溅射靶（1）的靶面。
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