[发明专利]应用于无线温度传感器的高Q值单端对声表面波谐振器有效
申请号: | 201510707371.8 | 申请日: | 2015-10-28 |
公开(公告)号: | CN105245199B | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 倪斌 | 申请(专利权)人: | 江苏声立传感技术有限公司 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种应用于无线温度传感器的高Q值单端对声表面波谐振器,包括一个叉指换能器、分别分布于所述叉指换能器两侧的两个反射器以及压电基底,所述叉指换能器采用余弦函数切指加权的形式设置于所述压电基底上,两个所述反射器采用沟槽形式设置于所述压电基底上。所述压电基底为采用绕Y轴向旋转0°~30°切割且沿X方向传播的石英晶体。所述叉指换能器采用占空比为1.3~1.5的铝电极。本发明可以实现小体积、高Q值、低损耗以及低寄生等性能,提高了Q值,降低了器件的损耗,实用性强。 | ||
搜索关键词: | 应用于 无线 温度传感器 值单端 表面波 谐振器 | ||
【主权项】:
1.一种应用于无线温度传感器的高 Q 值单端对声表面波谐振器,其特征在于,它包括 一个叉指换能器、分别分布于所述叉指换能器两侧的两个反射器以及压电基底,所述叉指换能器采用余弦函数切指加权的形式设置于所述压电基底上,两个所述反射器采用沟槽形式设置于所述压电基底上;所述压电基底为采用绕 Y 轴向旋转 0°~ 30°切割且沿 X 方向传播的石英晶体;所述叉指换能器采用占空比为 1.3 ~ 1.5 的铝电极;所述石英晶体材料具有线性频率温度系数,且频率温度系数在 10 ~ 22ppm/℃。
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