[发明专利]一种中束流离子注入机的聚焦硅堆装置

摘要

本发明公开了一种中束流离子注入机的聚焦硅堆装置。所述该装置主要结构包括固定夹板(1)、绝缘管(2)、PCB板(3)、高压二极管(4)、接线球(5)、放电盘(6)和高压插座(7)。整个装置的一侧由固定夹板(1)固定于加速管外壳，外部为绝缘管(2)，以确保安全，内部为两块PCB板(3)，板上为串在一起的高压二极管(4)堆(即硅堆)，以实现该装置的聚焦或者泄放作用；另一侧由接线球(5)引入负压并由放电盘(6)对装置实施保护作用，高压插座(7)为本装置提供电源。本发明装置与以往装置相比，结构简单，与加速管内的加速电极和地电极相结合聚焦效果好，能很好满足离子束聚焦的要求。

主权项

一种中束流离子注入机的聚焦硅堆装置，该装置主要用于给加速管提供聚焦电压。所述该装置主要结构包括：固定夹板(1)、绝缘管(2)、PCB板(3)、高压二极管(4)、接线球(5)、放电盘(6)和高压插座(7)。整个装置的一侧由固定夹板(1)固定于加速管外壳，外部为绝缘管(2)，以确保安全，内部为两块PCB板(3)，板上为串在一起的高压二极管(4)堆(即硅堆)，以实现该装置的聚焦或者泄放作用；另一侧由接线球(5)引入负压并由放电盘(6)对装置实施保护作用，高压插座(7)为本装置提供电源。