[发明专利]一种新型宽束流减速器在审
| 申请号： | 201510710240.5 | 申请日： | 2015-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106653542A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 林萍 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/05 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型宽束流减速器，包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速电极(1)进入减速器，在减速电极(1)和抑制电极1(2)之间的电势差产生一个加速电场，离子加速，同时聚焦电极(6)与抑制电极1(2)之间的电势差形成了一个水平方向电场，此电场方向使离子向里靠拢，达到水平方向离子聚焦作用。随后是两个抑制电极2(4)、两个地电极1(3)和两个地电极2(5)构成透镜，根据透镜原理，离子在穿过透镜过程中，离子先聚焦后发散，通过减速器之后既达到减速目的，离子又起到聚焦作用。本发明装置与以往装置相比，宽束流垂直方向聚焦效果更好，并且减少了打火次数，能很好满足宽带束束流要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 宽束流 减速器 | ||
【主权项】：
一种新型宽束流减速器装置，该装置主要用于低能宽束离子注入机减速环节。其特征包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速器之后既达到减速目的，又起到更好聚焦作用。
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