[发明专利]一种多通道束流选择与采集系统在审
| 申请号： | 201510710334.2 | 申请日： | 2015-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106653545A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 高婷婷 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多通道束流选择与采集系统，包括宽带离子束束流(1)、多通道选择板(2)、I/V转换板(3)、A/D转换板(4)、以及上位机(5)。该系统通过多通道选择板(2)控制宽带离子束束流的选通与截止，采集到的束流经过I/V转换板(3)转换成电压信号，A/D转换板(4)将电压信号转换为上位机识别的数字信号进而传递给上位机(5)，实现多束流的选通与采集。说明书对一种多通道束流选择与采集系统作出了详细说明，并给出了具体实施方案。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 选择 采集 系统 | ||
【主权项】：
一种多通道束流选择与采集系统，其特征在于：宽带离子束束流(1)、多通道选择板(2)、I/V转换板(3)、A/D转换板(4)、以及上位机(5)。
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