[发明专利]一种引出电极驱动装置

摘要

本发明公开了一种引出电极驱动装置，包括离子引出模块、引出驱动模块、真空模块，所述离子引出模块由引出地电极、抑制电极、极间绝缘零件等组成，该引出模块引出地电极和抑制电极设计能够与离子源引出电极之间形成可调电位差，使离子高效的通过引出缝，从而提高了离子束的光学品质。所述引出驱动模块由x向运动部件、x轴旋转运动部件、z向运动部件构成，该引出驱动模块实现了离子引出地电极的三自由度运动，提高了离子传输效率。所述真空模块主要由引出驱动杆、真空波纹管和驱动连接块组成，该模块能够在保证高真空度的条件下实现离子引出模块的平稳运动。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

主权项

一种引出电极驱动装置，包括离子引出模块(1)、引出驱动模块(2)、真空模块(3)，其特征在于：该引出装置能够将离子从离子源弧室中引出，并且能够实现引出电极三自由度调整，具有运动平稳，电极间绝缘性好，引出效率高，传输稳定性好等优点。