[发明专利]一种基于分级多孔WO3微米球的气体传感器及其制备方法

摘要

本发明属于半导体氧化物的气体传感器技术领域，具体涉及一种基于分级多孔WO₃微米球的气体传感器及其制备方法。本发明的基于分级多孔WO₃微米球的气体传感器中气敏涂层的成分为分级多孔WO₃微米球，分级多孔WO₃微米球具有单一的六方相晶体结构，球体大小均匀且个体分散性好，直径在3~5µm之间，每个分级多孔WO₃微米球由直径为纳米级的WO₃纳米棒组装而成，具有大比表面积和孔隙率。其制备方法是在混合辅助剂条件下进行水热合成，得到分级多孔WO₃微米球进行组装得到成品。本发明的基于分级多孔WO₃微米球的气体传感器具有低工作温度、高灵敏度、低能耗、高选择性等优点。

主权项

一种基于分级多孔WO₃微米球的气体传感器，其特征在于包括铂金导线、陶瓷管、气敏涂层、叉指金电极和加热丝，其中所述的加热丝从陶瓷管中穿过并将其两端焊接在基座的加热电极上，叉指金电极覆在陶瓷管外表面并通过铂金导线焊接在基座的测量电极上，气敏涂层涂覆在叉指金电极外表面；所述的气敏涂层的成分为分级多孔WO₃微米球，分级多孔WO₃微米球具有单一的六方相晶体结构，球体大小均匀且个体分散性好，直径在3~5µm之间，每个分级多孔WO₃微米球由直径为纳米级的WO₃纳米棒组装而成，具有大比表面积和孔隙率。