[发明专利]功率器件的高温反偏和高温栅偏测试系统

摘要

本发明公开了一种功率器件的高温反偏和高温栅偏测试系统，适用于对功率器件的高温反偏或高温栅偏进行可靠性测试，它由微机控制系统、电压偏置系统、器件加热系统和数据采集系统四个部分组成，根据所接入的被测器件端子的不同可以对被测器件进行高温反偏测试或高温栅偏测试，并在测试中对被测功率器件的泄漏电流的数据进行实时采集，可根据预先设定的失效标准，准确记录高温反偏和高温栅偏的失效时间。

主权项

一种功率器件的高温反偏和高温栅偏测试系统，它包括：微机控制系统、电压偏置系统、器件加热系统和数据采集系统；其特征在于：微机控制系统和电压偏置系统、数据采集系统连接；所述的微机控制系统包括计算机和安装于计算机内的相关控制软件，微机控制系统的功能是控制电压偏置系统和数据采集系统完成控制软件指定的动作；所述的电压偏置系统包括一个程控电压源和一个限流电阻；程控电压源和微机控制系统连接，由控制软件控制程控电压源向被测器件提供反偏或栅偏的电压；限流电阻接在程控电压源和被测器件之间；所述的器件加热系统包括可放置被测器件的内箱体、加热装置、可编程温度控制器、温度传感器；可编程温度控制器安装在内箱体之外，加热装置和温度传感器放置在内箱体中，与可编程温度控制器相连；所述的数据采集系统包括程控电流表和程控电压表，程控电流表和程控电压表分别与微机控制系统连接；程控电流表与电压偏置系统和被测器件形成一个测试电路，用于测试高温反偏或高温栅偏时的泄漏电流，而程控电压表并接在被测器件的两端，用于测试器件的压降。