[发明专利]一种高精度共轴光学系统计算机辅助装调及波前检测方法在审
| 申请号： | 201510716323.5 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105301795A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 刘伟奇;王蕴琦;康玉思;魏忠伦;付瀚毅;张大亮;冯睿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高精度共轴光学系统计算机辅助装调及波前检测方法，包括以下步骤：步骤一：以点光源、双缝连线的中心点、0级干涉条纹中心点三点为一条基准直线来调整设备的光轴的理论位置；步骤二：将待装调光学元件放置在靠近双缝位置的装调台上，调整装调台的高度和水平位置，使得双缝出射后的光线可穿过将待装调光学元件的光学孔径；步骤三：以图像接收系统接收经过待装调光学元件后，在像面处所形成的干涉条纹；步骤四：装调补偿参数，直至0级干涉条纹恢复到中心位置。本发明是一种高精度的光学系统装调技术，对于光学元件偏心的敏感度达到10-8°量级以上，对于光学元件的平移偏差敏感度达到λ/10以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 光学系统 计算机辅助 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种高精度共轴光学系统计算机辅助装调及波前检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：以点光源、双缝连线的中心点、0级干涉条纹中心点三点为一条基准直线来调整设备的光轴的理论位置；步骤二：将待装调光学元件放置在靠近双缝位置的装调台上，调整装调台的高度和水平位置，使得双缝出射后的光线可穿过将待装调光学元件的光学孔径；步骤三：以图像接收系统接收经过待装调光学元件后，在像面处所形成的干涉条纹；步骤四：装调补偿参数，直至0级干涉条纹恢复到中心位置。
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