[发明专利]数字剪切散斑干涉的实时测量方法和系统在审
| 申请号： | 201510716373.3 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105371778A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 高瞻;张小琼;秦洁 | 申请（专利权）人： | 北京交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/02;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人： | 毛燕生 |
| 地址： | 100044 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种数字剪切散斑干涉的实时测量方法和系统，涉及测量领域。所述方法，包括：使用激光器作为光源，将所述光源输出的偏振光经过空间滤波器和扩束器进行滤波和扩束后，照射在测量目标的表面；所述测量目标表面的反射光经过第一偏振片，形成线偏振光；所述线偏振光经过沃拉斯顿棱镜剪切装置，所述寻常光o光和所述非常光e光经过第二偏振片；所述寻常光o光和所述非常光e光经过相互干涉形成散斑干涉图，所述电荷耦合元件CCD采集成像的所述散斑干涉图，得到时间序列上的至少两幅采集后的散斑干涉图；对至少两幅采集后的散斑干涉图进行图像相减，生成至少一个相减后的散斑干涉图；显示至少一个相减后的散斑干涉图。 | ||
| 搜索关键词： | 数字 剪切 干涉 实时 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
一种数字剪切散斑干涉的实时测量方法，其特征在于，包括：使用激光器作为光源，将所述光源输出的偏振光经过空间滤波器和扩束器进行滤波和扩束后，照射在测量目标的表面；所述测量目标表面的反射光经过第一偏振片，形成线偏振光；所述线偏振光经过沃拉斯顿棱镜剪切装置，所述沃拉斯顿棱镜剪切装置使得每束所述线偏振光被剪切成偏振方向互相垂直的寻常光o光和非常光e光；所述寻常光o光和所述非常光e光经过第二偏振片，所述第二偏振片使得所述寻常光o光和所述非常光e光的偏振方向一致；所述寻常光o光和所述非常光e光经过相互干涉形成散斑干涉图，所述散斑干涉图经过成像镜头成像于电荷耦合元件CCD上；所述电荷耦合元件CCD采集成像的所述散斑干涉图，得到时间序列上的至少两幅采集后的散斑干涉图；对所述至少两幅采集后的散斑干涉图进行图像相减，生成至少两个相减后的散斑干涉图；显示所述至少一个相减后的散斑干涉图。
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