[发明专利]一种快速高灵敏的光子晶体湿度传感器的制备方法

摘要

一种快速高灵敏的光子晶体湿度传感器的制备方法，本发明涉及一种湿度传感器的制备方法。本发明的目的是为了解决湿度传感器成本昂贵、平行稳定性差、传感器器件力学性能差以及操作繁琐的问题。本发明的快速高灵敏的光子晶体湿度传感器是将胶状的组装溶液固定在基底材料上。本发明的湿度传感器的制备方法按以下方法制备：一、基底材料的处理；二、制备组装溶液；三、快速高灵敏的光子晶体湿度传感器的制备。本发明制得的湿度传感器解决了传统湿度传感器成本昂贵的问题，同时本发明制得的湿度传感器具有极高的平行稳定性和很高的力学性能。本发明的湿度传感器用于灵敏度高的传感器领域。

主权项

1.一种快速高灵敏的光子晶体湿度传感器的制备方法，其特征在于：该快速高灵敏的光子晶体湿度传感器的制备方法按以下步骤制备：取二氧化硅胶体粒子干粉5g分散在50ml的99％的无水乙醇中，配制成10％的SiO2胶体粒子的乙醇溶液；取响应聚合物PVA0.1g溶解在10ml的去离子水溶液中，配制成1％的响应聚合物PVA与水溶液；将SiO2胶体粒子与乙醇的混合溶液和响应聚合物PVA与水的前驱液按体积比为1:10混合制得组装溶液；将玻璃基底放置于质量分数为98％硫酸和质量分数为30％的过氧化氢按体积比7:3的溶液中超声清洗，随后依次在丙酮，乙醇，超纯水中超声15min，然后在烘箱中烘干；去除基底表面的杂质，保证玻璃基底的亲水和干净；将玻璃基底浸渍到配好的组装溶液中，将其移入培养箱中温度60度，时间0.5h，通过控制培养箱的气氛，控制培养箱的湿度为80％，乙醇蒸汽的含量20％，实现胶体粒子与响应聚合物的快速组装，制备出稳定快速高灵敏的湿度传感器；通过反射光谱，实现环境中水蒸气的检测；所述的稳定快速高灵敏的湿度传感器的响应时间为1s。