[发明专利]一种小型能量连续可调无谐波软X射线无谐波光束线系统

摘要

本发明公开了一种小型能量连续可调无谐波软X射线无谐波光束线系统，包括：由一台准连续输出台面化激光器、一套激光光束扩束聚焦系统、一套真空靶室系统和一套电控调节转盘靶系统构成的准连续输出连续谱软X射线光源；由一个前置狭缝、一块水平聚焦软X射线反射镜、一块垂直聚焦软X射线反射镜、一块软X射线平面反射镜、四块不同线密度的软X射线反射式单级衍射光栅、一套电控调节系统、一套电控调节系统软件和一个后置狭缝构成的软X射线无谐波光栅单色仪。本发明占地面积小，建造、运行成本低；无高次谐波污染，输出光束光谱纯度高，无需配备谐波抑制技术设施。

主权项

一种小型能量连续可调无谐波软X射线无谐波光束线系统，其特征在于，所述的小型能量连续可调无谐波软X射线无谐波光束线系统包括机械构件、光学组件和控制系统三大部分；机械构件包括：靶竖直运动组件(1)、靶旋转运动组件(2)、靶架(3)、四维调整组件(4)、靶室(5)、水平聚焦镜室(6)、水平聚焦镜架(7)、竖直聚焦镜室(8)、竖直聚焦镜架(9)、单色器室(10)、单色器(11)；光学组件沿着光路依次为激光器(12)，括束镜(13)、聚焦镜(14)、转盘靶(15)、滤片(16)、入缝(17)、水平聚焦镜(18)、竖直聚焦镜(19)、平面镜(20)、光栅(21)、出缝(22)；控制系统包括转盘靶运动控制系统(23)以及单色仪波长扫描控制系统(24)；束线的光源系统为激光转盘靶等离子体光源；激光器(12)输出的光束G，在前进方向上，依次设置有括束镜(13)、聚焦镜(14)，激光经括束后聚焦在转盘靶(15)上；转盘靶(15)安装在靶室(5)内；靶旋转运动组件(2)，其转轴方向是竖直方向，经靶架(3)转换后转盘靶的转轴转变为水平方向；靶旋转运动组件(2)固定在靶竖直运动组件(1)上；靶架(3)固定在四维调整组件(4)，经过隔振后与靶室(5)连接，通过调节四维调整组件(4)，整体调节靶架(3)的二维水平方向以及俯仰角度；通过控制靶旋转运动组件(2)和靶竖直运动组件(1)的组合运动，控制转盘靶(15)做螺旋运动；束线的分光系统包括入缝(17)、水平聚焦镜(18)、竖直聚焦镜(19)、平面镜(20)、光栅(21)、出缝(22)；水平聚焦镜(18)安装在水平聚焦镜架上(7)，镜架是一个6维调整组件，固定在水平聚焦镜室(6)内，能够调整水平聚焦镜(18)的3维空间位置和3维旋转姿态；竖直聚焦镜(19)安装在竖直聚焦镜架上(9)，镜架是一个6维调整组件，固定在竖直聚焦镜室(8)内，能够调整竖直聚焦镜(19)的3维空间位置和3维旋转姿态；单色器(11)的光学元件包括平面镜(20)和四块光栅(21)，光栅绕自身中轴线转动，平面镜绕平行于光栅转动轴线的另一轴线离轴转动。