[发明专利]一种对镀膜产品二次清洁的离子净化系统及其净化方法有效

专利信息
申请号: 201510722667.7 申请日: 2015-10-31
公开(公告)号: CN105220115B 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 刘双良 申请(专利权)人: 华有光电(东莞)有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种在真空状态的镀膜腔室下可对镀膜产品进行表面清洁的净化设备,尤指一种对镀膜产品二次清洁的离子净化系统及其净化方法,安装在镀膜机炉体内,主要包括镀膜治具、电子束蒸发装置、氮气装置、离子装置和净化除尘装置,镀膜治具为安装在镀膜机炉体内顶部的大型伞形状,镀膜治具通过中轴处连接的旋转中轴使镀膜治具活动安装在镀膜机炉体顶壁中央,氮气装置主要由相互连接的氮气源发生器和供氮管道、气体流量调节阀、调压阀、单向阀组成,离子装置主要由电性连接的离子推进器和离子转换器组成;净化除尘装置设置在镀膜治具的邻近处;本发明具有安装维护方便、维护成本低等特点,同时工艺操作简单、产能最大化、效率高、节约人力。
搜索关键词: 镀膜治具 镀膜产品 镀膜机 净化除尘装置 离子净化系统 氮气装置 离子装置 体内 电子束蒸发装置 气体流量调节阀 离子推进器 离子转换器 安装维护 表面清洁 电性连接 镀膜腔室 工艺操作 活动安装 净化设备 炉体顶壁 旋转中轴 真空状态 发生器 净化 清洁 单向阀 氮气源 调压阀 伞形状 中轴处 最大化 产能 供氮 邻近 节约 维护
【主权项】:
1.一种对镀膜产品二次清洁的离子净化系统,离子净化系统安装在镀膜机炉体内,其特征在于:所述的离子净化系统主要包括镀膜治具、电子束蒸发装置、氮气装置、离子装置和净化除尘装置,其中,所述的镀膜治具为安装在镀膜机炉体内顶部的大型伞形状,镀膜治具的中轴处连接有旋转中轴,通过旋转中轴使镀膜治具活动安装在镀膜机炉体顶壁中央,镀膜治具表面印设有适配产品排列定位的型印;所述的氮气装置和离子装置安装在镀膜机炉体的底部,氮气装置主要由相互连接的氮气源发生器和供氮管道、气体流量调节阀、调压阀、单向阀组成,氮气源发生器通过气体流量调节阀、调压阀而调节氮气流速与氮气压力;离子装置主要由电性连接的离子推进器和离子转换器组成;所述的净化除尘装置设置在镀膜治具的邻近处,主要由离子棒、吸尘管、高压电源、离子针和固定件组成,离子棒为细长条管状,轴套安装在吸尘管内,吸尘管管壁开设有10‑20个纵向排列的通孔为吸风口,离子针设置在离子棒上,且离子针针向正对吸风口, 净化除尘装置通过固定件焊接或紧扣连接有除尘装置支撑架。
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