[发明专利]一种蓝宝石晶片的研磨装置及其研磨方法

摘要

本发明所述的一种蓝宝石晶片的研磨装置，包括浆料桶、蠕动泵和研磨机，研磨机上设有浆料槽，浆料通过蠕动泵和浆料槽进入研磨机内，一种蓝宝石晶片的研磨方法，包括以下步骤：1、准备浆料：多级分层次投放原料，2、浆料流量控制：浆料投放精确，3、研磨下盘面平整度矫正：长规、短规加千分表多次测量并进行修正，4、研磨盘面布粉，5、晶片双面研磨：首先进行轻压研磨，本发明的特点在于，优化了浆料的原料配比，浆料的供给流量更精确，输送更均匀，正常研磨前，先进行轻压研磨，最大可能的防止晶片在研磨过程中破裂的问题，降低了晶片的破片率，提高了研磨的优质率，且研磨时的移除率稳定，不会产生过磨、移除率低的问题，效率较快。

主权项

一种蓝宝石晶片的研磨装置，其特征在于，包括浆料桶、蠕动泵和研磨机，所述蠕动泵包括2个泵头、输送管和泵出管，所述泵头对输送管进行输送控制，所述输送管和泵出管上分别套合有输送软管和泵出软管，所述研磨机包括横梁、浆料槽、研磨上盘和研磨下盘，所述横梁上设有控制气缸和软管支架，所述控制气缸竖直设置，包括气缸杆，所述气缸杆竖直朝下，并通过轴承与研磨上盘转动连接，实现研磨上盘在竖直方向上的运动和水平方向上的转动，所述浆料槽固定设置于研磨上盘上方，位于横梁和研磨上盘之间，并与研磨上盘固接，浆料槽呈圆环形的沟槽状，开口朝上，其下端面均匀设置于36个漏口，所述研磨上盘上设有36个贯穿研磨上盘的管接头，所述管接头均匀排布，并通过透明软管与漏口连接，连通浆料槽。