[发明专利]一种光学真空镀膜机内腔清洁方法在审
| 申请号： | 201510723567.6 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105296927A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 訾云旭;句红兵;杨勇;李莉;訾云海;荀涛;张宝福 | 申请（专利权）人： | 云南汇恒光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650114 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光学元件真空镀膜领域，尤其是一种光学真空镀膜机内腔清洁方法。这种清洁方法具体步骤如下：(1)将光学真空镀膜机内腔及夹具清洁干净；(2)装载外形尺寸合格而其它技术指标不作要求的光学元件，在光学真空镀膜机中镀制可溶于酸性水性清洗液厚度为20～200nm的隔离膜；(3)将镀有隔离膜的光学元件取下，装载合格光学元件，按其技术要求在光学真空镀膜机中镀制膜层；(4)光学真空镀膜机内腔及夹具达到清洁周期后，取下光学真空镀膜机内腔及夹具在酸性水性清洗液中清洗，除去内腔及夹具表面沉积物。(5)除去光学真空镀膜机内腔及夹具表面残余的酸性水性清洗液，烘干或晾干光学真空镀膜机内腔及夹具，将内腔及夹具装入光学真空镀膜机；(6)按步骤(2)～(5)开展光学元件真空镀膜下一生产及清洁周期。本方法较常规喷砂或砂布打磨等方法，方便快捷，且对镀膜机内腔及夹具损伤较小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 真空镀膜 机内腔 清洁 方法 | ||
【主权项】：
一种光学真空镀膜机内腔清洁方法，其特征在于这种清洁方法具体步骤如下：(1) 将光学真空镀膜机内腔及夹具清洁干净；(2) 装载外形尺寸合格而其它技术指标不作要求的光学元件，在光学真空镀膜机中镀制隔离膜；(3) 将镀有隔离膜的光学元件取下，装载合格光学元件，按其技术要求在光学真空镀膜机中镀制膜层； (4) 光学真空镀膜机内腔及夹具达到清洁周期后，取下光学真空镀膜机内腔及夹具在酸性水性清洗液中清洗，除去内腔及夹具表面沉积物；(5) 除去光学真空镀膜机内腔及夹具表面残余的酸性水性清洗液，烘干或晾干光学真空镀膜机内腔及夹具，将内腔及夹具装入光学真空镀膜机；(6) 按步骤(2)～(5)开展光学元件真空镀膜下一生产及清洁周期。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于云南汇恒光电技术有限公司，未经云南汇恒光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510723567.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
