[发明专利]一种磁共振气室的抗弛豫镀膜方法有效
申请号: | 201510726460.7 | 申请日: | 2015-10-30 |
公开(公告)号: | CN105369219B | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 郑辛;田晓倩;田海峰;尚克军;秦杰;汪世林;王宇虹;裴强 | 申请(专利权)人: | 北京自动化控制设备研究所 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/04 |
代理公司: | 核工业专利中心 11007 | 代理人: | 张雅丁 |
地址: | 100074 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于磁共振气室的镀膜方法,特别是一种磁共振气室的抗弛豫镀膜方法。在本发明技术方案中,重点介绍了镀膜材料的选择、镀膜工艺及镀膜前后对气室的处理方法。该方法成膜效果好,膜层薄、厚度均匀、耐高温、操作简单、安全性高,有效的提高了气室的抗弛豫能力。 | ||
搜索关键词: | 气室 镀膜 磁共振 抗弛豫 成膜效果 镀膜材料 镀膜工艺 厚度均匀 耐高温 膜层 | ||
【主权项】:
1.一种磁共振气室的抗弛豫镀膜方法,气室从结构上包括上部的圆筒结构和下部的立方体结构;圆筒结构的高度为2~4mm,直径为1~2mm;立方体结构的棱长为6mm;圆筒结构的下底面设置在立方体结构上顶面的中心位置;其特征在于,包括如下步骤:(1)采用Piranha溶液清洗气室内壁配制Piranha溶液:将体积比为3:7的30at%过氧化氢溶液和98at%的浓硫酸混合,搅拌均匀形成Piranha溶液;将Piranha溶液注入气室内直至注满,再将气室浸入Piranha溶液中,静置0.5~1.5小时;(2)用纯净水冲洗气室内壁倒出气室内外的Piranha溶液,用纯净水冲洗气室内外,用电导率仪测量每次冲洗气室内外后水的电导率,当电导率的值小于0.7μS/cm时判断冲洗完成,进行下一个步骤;(3)对气室进行烘干和除气处理将气室放在烘箱中,烘箱温度设定为100℃,除去气室表面的水分,使气室干燥;然后将气室放入真空除气炉,对气室进行除气;(4)将派瑞林材料气化、裂解、沉积(4.1)将派瑞林材料放置在气化箱,温度设定为150℃,使派瑞林材料蒸发;(4.2)气态的派瑞林材料进入到裂解室,温度设定为650℃,派瑞林材料在裂解室内由聚合物裂解为稳定的活性单体;(4.3)将气室放入沉积室内,温度设定为25℃,再将步骤(4.2)中得到的活性单体派瑞林材料输入到沉积室内,使活性单体派瑞林材料均匀涂布在气室内壁,形成一层均匀的派瑞林膜层。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的