[发明专利]一种并联式宏微高精度运动平台

摘要

本发明属于机械设计与制造技术领域，具体涉及一种并联式宏微高精度运动平台。其特征在于，第一直线驱动系统、第二直线驱动系统分别相互平行并对称固定于基座(1)的平面前后两侧，终端平台(2)为Y字形，三个顶端分别与三个相同支链的一端相连，第一支链、第二支链的另一端铰接在第一直线进给平台(17)上，第三支链的另一端铰接在第二直线进给平台(35)上；两个直线进给平台分别通过导轨滑块与各自系统的直线导轨相连，直线光栅尺平行于直线导轨，在基座(1)上固定安装有平面光栅(54)；将柔性铰链单元嵌入支链中，在压电陶瓷致动器的尾端固定安装压力传感器，采用输入解耦的柔性单元设计方式；本发明具有运动精度高、分辨率高的特点。

主权项

一种并联式宏微高精度运动平台，其特征在于，第一直线驱动系统、第二直线驱动系统分别相互平行并对称固定于基座(1)的平面前后两侧，第一支链、第二支链和第三支链是完全相同的；终端平台(2)置于第一直线驱动系统与第二直线驱动系统之间，终端平台(2)为Y字形，三个顶端分别各自通过一个转动轴与三个支链的一端相连，第一支链、第二支链的另一端分别通过固定旋转轴铰接在第一直线进给平台(17)上，第三支链的另一端通过固定旋转轴铰接在第二直线进给平台(35)上；第一直线进给平台(17)通过导轨滑块与第一直线驱动系统中的直线导轨相连，第二直线进给平台(35)通过导轨滑块与第二直线驱动系统中的直线导轨相连；两个直线光栅尺分别平行于第一直线驱动系统与第二直线驱动系统的直线导轨；在基座(1)上固定安装有平面光栅(54)；直线驱动系统的宏动和各支链的微动控制终端平台的(2)的位置，在给定了终端平台(2)所需达到的位置值后，通过机构的位置逆解，分别获得第一直线进给平台(17)和第二直线进给平台(35)的运动位置量，第一直线进给平台(17)的运动量通过第一直线光栅尺(19)进行精确测量，将第一直线进给平台(17)的运动误差量反馈给第一直线进给平台(17)上的第一伺服电机(4)进行全闭环补偿控制以保证第一直线进给平台(17)的运动位置；第二直线进给平台(35)的运动量通过第二直线光栅尺(37)进行精确测量，将第二直线进给平台(35)的运动误差量反馈给第二直线进给平台(35)上的第二伺服电机(22)进行全闭环补偿控制以保证第二直线进给平台(35)的运动位置；通过平面光栅(54)能测量出终端平台(2)的运动误差，将该误差量利用各支链中的压电陶瓷致动器进行补偿。