[发明专利]一种产生大面积冷等离子体的装置

摘要

本发明公开了一种产生大面积冷等离子体的装置，所述装置包括网状或条状的内电极与外电极、带有微孔阵列的介质板和气室，所述内、外电极紧贴介质板两侧，介质板上的微孔位于电极的条状或网状间隙的中间位置。所述气室用于储存放电所需的给料气体，气室与介质板相接，气流通过管道流入，并通过介质板上的微孔流出，进入到等离子体区域产生活性粒子。所述装置在高压电源的激励下能够产生大面积、均匀、接近室温的等离子体，通过控制气室中给料气体的成分与流速，可以调控等离子体化学，提高所需活性粒子的产生效率，促进活性粒子传质作用于等离子体之外的被处理物，并降低放电电压与温升，从而更加适用于生物医学、材料表面处理、环境保护等领域。

主权项

1.一种产生大面积冷等离子体的装置，其特征在于：所述装置包括：网状或条状的外电极、网状或条状的内电极、带有微孔阵列的介质板、高压电源和气室；所述气室用于储存放电所需的给料气体，气室与介质板相接，所述气室中的给料气体通过介质板上的微孔阵列流出，进入到等离子体区域产生活性粒子；所述内电极与外电极布置于介质板内外两侧，介质板上的微孔阵列位于内外电极的条状或网状间隙中间，且每相邻的两个条状或两个网状间隙中间的微孔呈交错分布；在高压电源的激励下，外电极产生沿面放电与射流放电相结合的等离子体；所述高压电源在内电极与外电极之间施加电压；当外电极为网状电极时，在外电极网孔边缘及中心产生等离子体；当外电极为条状电极时，在外电极条状间隙区域产生等离子体；所述装置还包括有气体管道、储气罐和流量控制器；所述储气罐通过气体管道与气室相连接，所述流量控制器位于储气罐与气室之间；所述储气罐通过气体管道向气室提供给料气体；流量控制器用于控制给料气体的流速；当气体的流速到达一定参数时，微孔部分将会形成等离子体射流阵列。