[发明专利]一种涂胶装置及其出胶喷嘴的清洗方法在审
| 申请号： | 201510728745.4 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN105182689A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 郭杨辰;齐鹏煜 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05B13/02;B05B15/02;B08B3/02;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂胶装置及其出胶喷嘴的清洗方法，以解决现有技术的涂布装置的出胶喷嘴的底端处无法清理干净，在凝结后所形成的光刻胶块掉落在正在涂布的基板表面时，会影响涂布质量的问题。所述涂胶装置，包括胶桶、与所述胶桶连接的出胶喷嘴、以及设置于所述出胶喷嘴下方的废胶槽；所述涂胶装置还包括清洗槽和清洗部件；所述清洗槽设置于所述废胶槽的一侧；所述清洗部件设置于所述清洗槽内，所述清洗部件用于在所述出胶喷嘴移动到所述清洗槽上方时，向所述出胶喷嘴喷射清洗液和清洁气体以清洗所述出胶喷嘴。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 装置 及其 喷嘴 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种涂胶装置，包括胶桶、与所述胶桶连接的出胶喷嘴、以及设置于所述出胶喷嘴下方的废胶槽；其特征在于，所述涂胶装置还包括清洗槽和清洗部件；所述清洗槽设置于所述废胶槽的一侧；所述清洗部件设置于所述清洗槽内，所述清洗部件用于在所述出胶喷嘴移动到所述清洗槽上方时，向所述出胶喷嘴喷射清洗液和清洁气体以清洗所述出胶喷嘴。
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