[发明专利]波像差测量装置与方法有效
| 申请号： | 201510731101.0 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN106647176B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 马明英;葛亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种波像差测量装置与方法，包括：光源、照明系统、物面模块和像面探测单元，其中，所述物面模块包括物面光栅和物面级次选择板，所述像面探测单元包括像面光栅、像面级次选择板和探测器，所述物面光栅和像面光栅均采用二元相移光栅。本发明的物面光栅和像面光栅采用二元相移光栅，其衍射光中没有零级光，仅有正负1级光，提高了用于测量的光强，物面级次选择板不再考虑0级衍射光滤除作用，降低了工艺难度；物面模块采用物面光栅与物面级次选择板，物面光栅的透过率远大于初始针孔，可降低像面采集时间，提高信号强度，提高测量速度与精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 物面 像面 选择板 波像差测量装置 二元相移 探测单元 衍射光 测量 针孔 工艺难度 照明系统 零级光 透过率 探测器 光强 滤除 光源 采集 | ||
【主权项】：
1.一种波像差测量装置，其特征在于，包括：光源、照明系统、物面模块和像面探测单元，其中，所述物面模块包括物面光栅和物面级次选择板，所述像面探测单元包括像面光栅、像面级次选择板和探测器，所述物面光栅和像面光栅均采用具有第一方向和第二方向的二元相移光栅，所述物面光栅在第一方向和第二方向的周期均为P，且第二方向与第一方向垂直，所述物面光栅的每个周期包括一白色区域、一灰色区域和两个不透光区域，所述白色区域和所述灰色区域为透光区域，光束透过所述透光区域后附加1/2光波长的光程差。
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