[发明专利]储料器和用于在储料器中调度晶圆载体的方法有效
| 申请号： | 201510731409.5 | 申请日： | 2015-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN105990200B | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王惟正;李凤宁;程炳源 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种储料器，包括：存储架、输出中继架、第一起货设备、输出架、第二起货设备和控制器。存储架具有多个存储空间。输出中继架具有多个第一输出中继空间。输出架具有输出空间。控制器配置为根据限定第一晶圆载体的高优先权的传递命令驱动第一起货设备以将存储在存储空间之一中的第一晶圆载体优先地传送至空的一个第一输出中继空间，并且配置为如果输出空间是空的则根据传递命令驱动第二起货设备以将第一晶圆载体从存储第一晶圆载体的第一输出中继空间优先地传送至输出空间。本发明实施例涉及储料器和用于在储料器中调度晶圆载体的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 料器 用于 调度 载体 方法 | ||
【主权项】：
1.一种储料器，包括：存储架，具有多个存储空间；输出中继架，具有多个第一输出中继空间；第一起货设备；输出架，具有输出空间；第二起货设备；以及控制器，配置为根据限定第一晶圆载体的高传递优先权的传递命令驱动所述第一起货设备以将存储在所述存储空间之一中的所述第一晶圆载体优先地传送至空的一个所述第一输出中继空间，并且配置为如果所述输出空间是空的则根据所述传递命令驱动所述第二起货设备以将所述第一晶圆载体从存储所述第一晶圆载体的所述第一输出中继空间优先地传送至所述输出空间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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